Čistící člun na křemenné oplatky
Čistící člun křemenných plátků je zařízení používané pro čištění plátků v procesu výroby polovodičů.
Materiál: 99,99% křemen
Popis
Vlastnosti
- Vysoká teplotní odolnost
- Odolnost proti korozi
- Odolnost proti opotřebení
- Snadno se čistí
Použití: Odstraňte povrchové nečistoty
Zajistit kvalitu výroby polovodičových čipů.
Aplikace
1. Před-difúzní čištění
Používá se k přepravě plátků přes mokré čištění na pracovním stole nebo ponořením (např. čištění RCA) k odstranění organických, kovových a částicových nečistot před vysokoteplotní difúzí nebo oxidačními procesy.
2. Čištění po-CMP (Chemical Mechanical Planarization).
Udrží destičky během čištění po-leštění, aby se odstranily zbytky kalu a povrchové vady a zajistila optimální rovinnost pro následné kroky litografie.
3. Přední-koncová-výroba-řady (FEOL)
Používá se v kritických fázích čištění FEOL, kde jsou vyžadovány ultra{0}}čisté povrchy pro růst hradlových oxidů, epitaxní depozici nebo implantaci iontů.
4. Zpět-Konec-z-řádkového zpracování (BEOL)
Podporuje wafery během čištění po-leptání nebo po{1}}nanášení k odstranění fotorezistu, vedlejších produktů leptání a kovových nečistot po vytvoření propojení.
5. Pokročilé balení
Usnadňuje čištění na úrovni destiček{0}} před krájením nebo lepením v 2,5D/3D IC balení a zajišťuje-bezkontaminační rozhraní pro spolehlivá propojení.
6. Fotovoltaická výroba
Používá se při výrobě solárních článků k čištění křemíkových substrátů, zlepšuje kvalitu povrchu pro lepší absorpci světla a účinnost přeměny energie.
Vlastnosti
|
Fyzikální vlastnosti |
Hodnoty |
|
Čistota |
＞99.99% |
|
Hustota |
2,2 g/cm3 |
|
Průhlednost |
＞90% |
|
Mohsova tvrdost |
5.5--6.5 |
|
Bod deformace |
1280 stupňů |
|
Bod měknutí |
1750 stupňů |
|
Žíhací bod |
1250 stupňů |
|
Měrné teplo (20 - 350 stupeň) |
670 J/kg. stupeň |
|
Tepelná vodivost (20 stupňů) |
1,4 W/m. stupeň |
|
Tepelná vodivost (w/mk, 1000 stupňů) |
1.0-1.2 |
|
Index lomu |
1.4585 |
|
Koeficient tepelné roztažnosti |
5.510 -7cm/cm. stupeň |
|
Horká - pracovní teplota |
1750-2050 stupňů |
|
Krátkodobá teplota služby - |
1450 stupňů |
|
Dlouhodobá - provozní teplota |
1100 stupňů |
|
Chemické vlastnosti |
Hodnoty |
|
Odolný vůči kyselinám |
Silná kyselina (kromě HF), Silná zásada, organický roztok |
|
Vysoké teploty Odolné proti korozi |
Vynikající |
|
Obsah kovových nečistot |
＜5 ppm |
|
Elektrické vlastnosti |
Hodnoty |
|
Odpor |
7107Ω.cm |
|
Izolační pevnost |
250~400Kv/cm |
|
Dielektrická konstanta |
3.7~3.9 |
|
Dielektrický absorpční koeficient |
＜410-4 |
|
Dielektrický ztrátový koeficient |
＜110-4 |
|
Mechanické vlastnosti |
Hodnoty |
|
Pevnost v tlaku |
1100 MPa |
|
Pevnost v ohybu |
67 MPa |
|
Pevnost v tahu |
48 MPa |
|
Poissonův poměr |
0.14~0.17 |
|
Youngův modul |
72 000 MPa |
|
Smykový modul |
31000 MPa |
Metody čištění
Čištění ponorem:
Umístěte oplatku do čisticí lodičky, poté ponořte čisticí loď do čisticí kapaliny a zvyšte kontakt mezi čisticí kapalinou a povrchem oplatky zvednutím lodičky, abyste zlepšili čisticí účinek.
Čištění sprejem:
Postavte čistící člun vzpřímeně do rozprašovací komory a pomocí trysky nastříkejte čisticí kapalinu na povrch plátku, abyste odstranili nečistoty.
Význam čištění lodí:
- Zajistěte čistotu destičky: Čistý povrch destičky je rozhodující pro kvalitu výroby polovodičových čipů a čisticí loď hraje v procesu čištění zásadní roli.
- Zajištění spolehlivosti polovodičových čipů: Zajistěte spolehlivost čipů a omezte vady produktu odstraněním povrchových nečistot.
- Zlepšení výtěžnosti polovodičových čipů: Zlepšení čistoty waferů, čímž se zlepší výtěžnost polovodičových čipů.
Populární Tagy: Čistící loď z křemenných plátků, Čína výrobci čistících člunů z křemenných plátků, dodavatelé, továrna
Odeslat dotaz
Mohlo by se Vám také líbit
